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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測試橢偏拉曼AFM反射譜成像技術(shù)
產(chǎn)品簡介
iSR是一種微光斑測試技術(shù)，用于實(shí)時(shí)刻蝕和Halftone工藝中的厚度測試
產(chǎn)品分類
最小0.1μm光斑尺寸進(jìn)行監(jiān)控
波數(shù)測試范圍從20到100cm-1
橢偏和iSR同步測試，可以獲得二維高分辨厚度圖譜
上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。
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